讀數(shù)的 ±0.125% — 最低的氣流校準(zhǔn)不確定度
福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的全新 molbox1+ 流量終端是對(duì) molbloc/molbox 氣流校準(zhǔn)系統(tǒng)的一次重大升級(jí)。molbox1+ 結(jié)合了 molbox 流量元件,可確保您獲得氣流計(jì)校準(zhǔn)和控制器校準(zhǔn)工作的最低不確定度。特別配置版 molbox1+S 可讓您在最高壓力下使用 molbloc-S 音速噴嘴流量元件,而且極其精準(zhǔn),大大擴(kuò)展了產(chǎn)品的流量使用量程。
molbloc/molbox1+ 氣流校準(zhǔn)系統(tǒng)是氣流計(jì)校準(zhǔn)、和校準(zhǔn)熱質(zhì)量流量控制器 (MFC)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、氣泡檢測(cè)儀以及其他流量測(cè)量設(shè)備的解決方案。molbloc/molbox 可開(kāi)展實(shí)時(shí)測(cè)量,無(wú)需移動(dòng)部件且獲得多個(gè)不同氣體與工作壓力的可溯源校準(zhǔn)支持,因此能夠應(yīng)對(duì)幾乎任何校準(zhǔn)應(yīng)用。molbloc/molbox 系統(tǒng)在很多行業(yè)內(nèi)得到廣泛應(yīng)用,包括制藥、半導(dǎo)體、航空、環(huán)境監(jiān)測(cè)、發(fā)電、參考?xì)怏w配方、以及研究和標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室。
讀數(shù)的 ±0.125% — 最低的氣流校準(zhǔn)不確定度
福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的全新 molbox1+ 流量終端是對(duì) molbloc/molbox 氣流校準(zhǔn)系統(tǒng)的一次重大升級(jí)。molbox1+ 結(jié)合了 molbox 流量元件,可確保您獲得氣流計(jì)校準(zhǔn)和控制器校準(zhǔn)工作的最低不確定度。特別配置版 molbox1+S 可讓您在最高壓力下使用 molbloc-S 音速噴嘴流量元件,而且極其精準(zhǔn),大大擴(kuò)展了產(chǎn)品的流量使用量程。
molbloc/molbox1+ 氣流校準(zhǔn)系統(tǒng)是氣流計(jì)校準(zhǔn)、和校準(zhǔn)熱質(zhì)量流量控制器 (MFC)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、氣泡檢測(cè)儀以及其他流量測(cè)量設(shè)備的解決方案。molbloc/molbox 可開(kāi)展實(shí)時(shí)測(cè)量,無(wú)需移動(dòng)部件且獲得多個(gè)不同氣體與工作壓力的可溯源校準(zhǔn)支持,因此能夠應(yīng)對(duì)幾乎任何校準(zhǔn)應(yīng)用。molbloc/molbox 系統(tǒng)在很多行業(yè)內(nèi)得到廣泛應(yīng)用,包括制藥、半導(dǎo)體、航空、環(huán)境監(jiān)測(cè)、發(fā)電、參考?xì)怏w配方、以及研究和標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室。
特性一覽
molbloc-L 與 molbloc-S 元件的在對(duì)質(zhì)量流量測(cè)量進(jìn)行高級(jí)校準(zhǔn)時(shí)不確定度僅為讀數(shù)的 ±0.125%。
molbox1+ 的創(chuàng)新性讓 molbloc/ molbox1+ 系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了低的氣流測(cè)量不確定度。多個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)的改善讓更低的不確定度成為可能,包括:
現(xiàn)有兩種等級(jí)的 molbloc 流量元件校準(zhǔn)作業(yè),方便您平衡不確定度和成本要求:
全新 molblocs 則配套以上兩種校準(zhǔn)等級(jí)類型?,F(xiàn)有 molblocs 可兼容不確定度為 ±0.2% 讀數(shù)的 molbox1+,無(wú)需作出任何調(diào)整。原有 molblocs 的升級(jí)服務(wù)可方便適配高級(jí)校準(zhǔn)和測(cè)量,詳見(jiàn)以下說(shuō)明。
福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的不確定度參數(shù)較為保守,而且也進(jìn)行過(guò)不確定度分析和計(jì)量支持。福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的創(chuàng)新與設(shè)計(jì)仍將繼續(xù)以確保產(chǎn)品能夠?yàn)橛脩粼趯?shí)際應(yīng)用而不是假設(shè)環(huán)境下實(shí)現(xiàn)參數(shù)功能作為目標(biāo)。
molbox1+S 音速噴嘴校準(zhǔn)設(shè)備擴(kuò)展了量程可調(diào)性,不含真空泵的 molbox1+S 是 molbox 1+ 的特定配置,使您能夠使用 molbloc-S 音速噴嘴流量元件來(lái)覆蓋更大量程(10:1 調(diào)節(jié)),而且無(wú)需配備昂貴的真空泵。molbox1+S 音速噴嘴校準(zhǔn)設(shè)備配套上游 Q-RPT 壓力量程,最高可達(dá) 2 MPa (300 psia),可在大氣壓下(常規(guī)應(yīng)用)在要測(cè)試的流量計(jì)的寬流量量程上游輕松使用 molbloc-S 元件。更廣的可調(diào)量程將使用更少的 molbloc 元件和附件,令校準(zhǔn)系統(tǒng)配置變得更簡(jiǎn)單。而且在增加高壓 molbloc 校準(zhǔn)時(shí)還能大大拓展您原有 molbloc-S 元件的量程。
Molbloc-S 元件 |
配合 SP 校準(zhǔn)和 molbox1 A700K 的可用量程 |
配合 HP 校準(zhǔn)和 molbox1+S A2M 的可用量程 |
1E2-S |
15 到 50 slm* |
20 到 200 slm* |
5E2-S |
67 到 250 slm* |
100 到 1000 slm* |
*在用于常壓下設(shè)備上游時(shí),配合 SP 校準(zhǔn)下 molbloc-S 的可用流量受到音速流背壓要求所限制。流量值單位為標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘,參考溫度 0℃。
molbox1+S 設(shè)計(jì)用于與 molbloc-S 音速噴嘴校準(zhǔn)設(shè)備配合使用,因此僅針對(duì)絕壓測(cè)量進(jìn)行配置,從而降低了成本。它還可降低流量系統(tǒng)的復(fù)雜性和總成本以及持續(xù)反復(fù)校準(zhǔn)成本。
多重 molbloc 校準(zhǔn)作業(yè)現(xiàn)在可支持各類氣體。這就意味著您現(xiàn)在可以分別校準(zhǔn) molbloc 以便在高壓(受測(cè)設(shè)備上游)和低壓(受測(cè)設(shè)備下游)下使用,從而支持不同應(yīng)用類型,無(wú)需再使用兩臺(tái) molbloc 或手動(dòng)加載不同 molbloc 校準(zhǔn)文件。所有校準(zhǔn)情況均保存在 molbloc EEPROM 當(dāng)中,用戶只需從 molbloc+ 前面板中或通過(guò) molbloc+ 遠(yuǎn)程接口選擇校準(zhǔn)類型即可。
COMPASS 校準(zhǔn)輔助軟件讓 molbloc/molbox 朝自動(dòng)化校準(zhǔn)又邁進(jìn)了一步。COMPASS 與個(gè)人計(jì)算機(jī)配合 molbloc/molbox 開(kāi)展工作,為流量設(shè)備的校準(zhǔn)和測(cè)試創(chuàng)造了現(xiàn)代化全功能統(tǒng)包式系統(tǒng)。
COMPASS 負(fù)責(zé)設(shè)定受測(cè)設(shè)備 (UUT) 記錄(或者受測(cè)單元),定義并協(xié)助受測(cè)設(shè)備的測(cè)試進(jìn)程、運(yùn)行測(cè)試、采集參考值和測(cè)試數(shù)據(jù)、提供標(biāo)準(zhǔn)并自定義校準(zhǔn)報(bào)告。質(zhì)量流量設(shè)備的氣體糾正因素和體積測(cè)定設(shè)備如轉(zhuǎn)子流量計(jì)的氣體密度糾正能夠輕松獲得支持,還可以選擇使用壓力和溫度測(cè)量的自動(dòng)輸入壓力來(lái)動(dòng)態(tài)計(jì)算和糾正流量。所有參考值、DUT 以及測(cè)試數(shù)據(jù)都會(huì)收集并存儲(chǔ)在標(biāo)準(zhǔn)限定文件當(dāng)中,方便輕松下載到其他應(yīng)用程序內(nèi)。
COMPASS for Flow 作為新款軟件,為流量校準(zhǔn)作業(yè)帶來(lái)了原先只有福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部 COMPASS for Pressure 所能提供的特性。這些特性包括:
從 molbox1 升級(jí)到 molbox1+ 既經(jīng)濟(jì)又簡(jiǎn)便??稍诟5摽擞?jì)量校準(zhǔn)部的菲尼克斯工廠進(jìn)行軟硬件升級(jí)。為升級(jí)并獲取 molbox1+ 的全新參數(shù)性能與特性,福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部會(huì)為您的系統(tǒng)進(jìn)行如下步驟的處理。
我們會(huì)對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)并送還到您手上,并附帶參數(shù)性能與校準(zhǔn)證書(shū)。新系統(tǒng)所占用的成本微乎其微。
常規(guī)參數(shù) |
|
電源要求 |
85V ac 到 264V ac, 47 Hz 到 440 Hz, 最大功耗 18 VA |
標(biāo)稱工作溫度量程 |
15℃ 到 30℃(59℉ 到 86℉) |
儲(chǔ)存溫度量程 |
-20℃ 到 70℃(-4℉ 到 158℉) |
震動(dòng) |
符合 MIL-T-28800D 標(biāo)準(zhǔn) |
重量 |
最大 6.8 kg (15 lb) |
尺寸(寬 x 高 x 厚) |
約 32 cm x 12 cm x 30 cm (12.6 in x 4.7 in x 11.8 in) |
通訊端口 |
RS-232 (COM1), RS-232 (COM2), IEEE-488.2 |
壓力連接(molbox1+ 與 molbloc) |
快速連接口,等同于 Swagelok? QM 串口 (SS-QM2-B200) |
流量量程 |
<1 sccm 到 >5000 slm 請(qǐng)參見(jiàn) molbloc-L 與 molbloc-S 的不同量程表 |
流量測(cè)量速率 |
1 秒 |
支持氣體 |
氮?dú)?(N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟代乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、氟環(huán)丁烷 (C4F8)、氙氣 (Xe) |
驅(qū)動(dòng)閥選件 |
(8) 12 V 輸出 各項(xiàng)輸出可在 12 V 時(shí)下降 500 mA,最大 1 A |
MFC 控制選件(模擬輸入/輸出) |
額定電壓量程: 0V dc 到 6V dc 輸入 0V dc 到 5V dc 輸出 額定電流量程: 4 mA 到 20 mA 輸入 4.01 mA 到 20 mA 輸出 準(zhǔn)確度: ±0.1% FS(設(shè)定)、±0.05% FS(測(cè)量) |
壓力測(cè)量 |
|
類型 |
Q-RPT 特性石英參考級(jí)壓力變送器 — 使用如下機(jī)械擺動(dòng)石英晶體 |
校準(zhǔn)壓力量程(全刻度) |
A700K:0 到 600kPa 絕壓(0 到 87 psia) |
測(cè)量不確定度(一年內(nèi)) |
絕壓 4
差壓(A700K 帶包裝)
差壓(A350K 帶包裝) |
溫度測(cè)量 |
|
類型 |
帶 molbox1+ 電阻測(cè)量系統(tǒng)的 molbloc PRT |
量程 (FS) |
0 到 40℃ |
分辨率 |
0.01 °CC |
molbloc PRT 精度 |
±0.02℃(15 到 30℃) |
板載 |
參考電阻器
電阻測(cè)量 |
流量測(cè)量 |
||
molbloc-L 層流元件 |
||
|
標(biāo)準(zhǔn) molbloc 校準(zhǔn) |
高級(jí) molbloc 校準(zhǔn) |
范圍 |
molbloc 全刻度的 0 到 100% |
molbloc 全刻度的 0 到 100% |
分辨率 |
0.0015 % FS |
0.0015 % FS |
精度 1 |
讀數(shù)的 ±0.07% |
讀數(shù)的 ±0.07% |
穩(wěn)定性(一年內(nèi))2 |
讀數(shù)的 ±0.09%, |
讀數(shù)的 ±0.03% |
測(cè)量不確定度 3 |
讀數(shù)的 ±0.2% |
讀數(shù)的 ±0.125% |
帶 molbloc-S 音速流元件 |
||
標(biāo)準(zhǔn) molbloc 校準(zhǔn) |
高級(jí) molbloc 校準(zhǔn) |
|
范圍 |
molbloc 全刻度的 10% 到 100% |
molbloc 全刻度的 10% 到 100% |
分辨率 |
0.0015 % FS |
0.0015 % FS |
精度 1 |
讀數(shù)的 ±0.06% |
讀數(shù)的 ±0.06% |
穩(wěn)定性(一年內(nèi))2 |
讀數(shù)的 ±0.05% |
讀數(shù)的 ±0.03% |
測(cè)量不確定度 3 |
讀數(shù)的 ±0.2% |
讀數(shù) 4 的 ±0.125% |
1 精確度:包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。
2 穩(wěn)定性:典型 molbox 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時(shí)特定時(shí)間段內(nèi)從零到范圍值的最大變化情況由于穩(wěn)定性可以預(yù)測(cè),特定 molbox 與 molbloc 的穩(wěn)定性可以根據(jù)經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行判斷。
3 測(cè)量不確定度:molbox1+ 流量指示值與流經(jīng) molbloc 的流量真值的最大偏移量,包括精度、穩(wěn)定性和福祿克計(jì)量校準(zhǔn)。對(duì)于不確定度的完整說(shuō)明請(qǐng)參見(jiàn)技術(shù)說(shuō)明 2011TN06B UNCERTAINTY ANALYSIS FOR FLOW MEASURED BY molbloc-L AND molbloc-S MASS FLOW TRANSFER STANDARDS(molbloc-L 與 molbloc-S 質(zhì)量流量傳輸標(biāo)準(zhǔn)所測(cè)量出的流量的不確定度分析)
4 正常使用 Autozero(自動(dòng)清零)功能。對(duì)于一年不使用 Autozero 功能的情況,需在 Q-RPT 范圍內(nèi)再增加 0.005%(即 molbloc-S 的 0.005% FS,對(duì) molbloc-S 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)或 molbloc-L 不確定度影響不大。)
所有不確定度參數(shù)報(bào)告均為 k=2