molbloc-S 音速噴嘴流量元件
基于音速噴嘴的 molbloc，氣流可達(dá) 5,000 slm
molbloc-S? 是一種高精確度的傳送標(biāo)準(zhǔn)，適用于校準(zhǔn)其他傳送標(biāo)準(zhǔn)或過程流量計(jì)和控制器。molbloc-S 與 molbox1+ 或 molbox RFM? 終端配合，可擴(kuò)展 molbloc/molbox? 校準(zhǔn)系統(tǒng)的量程，并且為中高流量提供出眾的準(zhǔn)確度?，F(xiàn)有的 molbox1 終端配備了 4.0 或更高版本的嵌入軟件，而所有 molbox1+ 終端都能與 molbloc-S 結(jié)合使用。
基于音速噴嘴的 molbloc，氣流可達(dá) 5,000 slm
molbloc-S? 是一種高精確度的傳送標(biāo)準(zhǔn)，適用于校準(zhǔn)其他傳送標(biāo)準(zhǔn)或過程流量計(jì)和控制器。molbloc-S 與 molbox1+ 或 molbox RFM? 終端配合，可擴(kuò)展 molbloc/molbox? 校準(zhǔn)系統(tǒng)的量程，并且為中高流量提供出眾的準(zhǔn)確度。現(xiàn)有的 molbox1 終端配備了 4.0 或更高版本的嵌入軟件，而所有 molbox1+ 終端都能與 molbloc-S 結(jié)合使用。
特性一覽
- 對于 N2 和空氣，覆蓋高達(dá) 5,000 slm 的量程
- 可與 molbox1+ 或現(xiàn)有的 molbox1 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結(jié)合使用
- 重量校準(zhǔn)支持可靠的流量文氏管（音速）噴嘴操作原則
- 污染物敏感度極低
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測量不確定度：
對于 molbox1+，可達(dá)到 ±0.125% 讀數(shù)
對于 molbox1，可達(dá)到 ±0.2% 讀數(shù)
對于 molbox RFM，可達(dá)到 ±0.5% 讀數(shù) - 可以使用空氣、N2、Ar、He 和其他校準(zhǔn)氣體，可以對環(huán)境氣體進(jìn)行潮濕氣體密度補(bǔ)償
- 利用 molbox1+S 或其他 molbox 型號加上真空，可實(shí)現(xiàn)量程可調(diào)性（10:1 調(diào)節(jié)）。
- 冗余的上游絕壓測量使用 molbox 絕壓傳感器來降低不確定度并提高可靠性
- 完整的氣體溫度調(diào)節(jié)和測量
- 連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù)，就像傳統(tǒng)的 molbloc-L 層流元件一樣
- 可以實(shí)現(xiàn)全自動
molbloc-S 量程
通過 molbloc-S 的質(zhì)量流速可直接與上游絕壓以及獨(dú)立的下游壓力或壓力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的壓力到流量轉(zhuǎn)化率 KF 定義。KF 的單位為 sccm/kPa，它定義了質(zhì)量流量與傳送到 molbloc-S 的上游絕壓之間的關(guān)系。molbloc-S 校準(zhǔn)工作是針對與 20 到 200 kPa（3 到 30 psia）、50 到 500 kPa（7 到 70 psia）或 200 kPa 到 2 MPa（30 到 300 psia）的上游壓力相對應(yīng)的量程執(zhí)行的。
為了使流量測量有效，molbloc-S 文丘管噴嘴處的流量很重要，例如，氣體速度等同于本地音速。當(dāng)背壓率足夠低時(shí)可以達(dá)到關(guān)鍵流量，或保持 BPR 不變（molbloc-S 下游絕壓除以上游絕壓）。關(guān)鍵流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之間，具體取決于流量的雷諾數(shù)。
由于通過 molbloc-S 的質(zhì)量流量與上游絕壓成比例，molbloc-S 的流量量程在應(yīng)用中的限值受 BPR 限值的影響。要使 molbloc-S 元件的量程最大化，必須在下游連接一個(gè)真空泵，減少流動時(shí)的下游壓力。當(dāng)下游壓力足夠低時(shí)，就可以將上游壓力以及質(zhì)量流速調(diào)節(jié)到針對 molbloc 校準(zhǔn)類型的最小值，而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大氣壓作為下游（無真空泵），則molbloc 所使用的上游壓力必須介于其校準(zhǔn)類型的最大壓力到當(dāng) BPR 等于當(dāng)前雷諾數(shù)下的 BPR 限值時(shí)的最小壓力之間。molbox1 終端包括了一些功能，可測量 BPR，在 BPR 值過高時(shí)自動提示操作人員，避免在流量非關(guān)鍵時(shí)進(jìn)行測量。
molbloc/molbox 通用技術(shù)指標(biāo) |
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| molbox1+ |
molbox RFM 除非另行說明，否則所有技術(shù)指標(biāo)均與 molbox1 相同。 |
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| 正常工作溫度范圍： | 15 到 35°C | |
| 儲存溫度范圍： | -25 到 35°C | |
| 正常工作壓力范圍： | 20 到 200 kPa 絕壓（3 到 30 psia）；或 50 到 500 kPa 絕壓（7 到 70 psia）上游；或 200 到 2000 kPa（30 到 300 psia），僅適用于 molbox1+S。 | |
| 總流量量程： | <1 到 5,000 slm | |
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入口連接： 1E1-S 到 1E2-S 2E2-S 到 2E3-S 5E3-S 和 1E4-S |
1/4 in. VCR? 1/2 in. VCR? 1 in. VCR? 或 1 in. NPT |
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出口連接： 5E1-S 到 2E3-S 5E3-S、1E4-S |
16 mm (3/4 in.) ISO-KF 型真空法蘭盤 40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF 型真空法蘭盤 |
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| 支持的氣體： | 氮?dú)?(N2)、干空氣、潮濕空氣、氬 (Ar)、一氧化碳(CO)、氦 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、八氟環(huán)丁烷 (C4F8)、氙氣 (Xe) | |
流量測量 |
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| 范圍： | 取決于 molbloc 的尺寸和壓力校準(zhǔn)量程（請參閱 molbloc-S 量程表格） | |
| 所需背壓率： | 0.4 到 0.9，取決于雷諾數(shù) | |
| 校準(zhǔn)氣體： |
標(biāo)準(zhǔn)：干空氣
可選：N2（取代標(biāo)準(zhǔn)空氣校準(zhǔn)或作為補(bǔ)充）、Ar、H2、He、N2O。有關(guān)這些氣體和其他氣體在特定量程內(nèi)的可用性，請咨詢廠家。 *濕空氣操作需要進(jìn)行干空氣校準(zhǔn) |
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| molbloc-S 壓力校準(zhǔn)量程： |
低壓力 (LP)： 20 到 200 kPa 絕壓（3 到 30 psia），上游
標(biāo)準(zhǔn)壓力 (SP)：
高壓力 (HP)：
* HP 校準(zhǔn)僅適用于 molbox1+S 終端 |
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| 分辨率： | ±0.0015% FS | ±0.01% 讀數(shù) |
| 精確度： | 讀數(shù)的 ±0.06％ | ±0.30% 讀數(shù) |
| 預(yù)測的穩(wěn)定度（一年期） | 讀數(shù)的 ±0.05％ | 讀數(shù)的 ±0.2％ |
| 測量不確定度 |
讀數(shù)的 ±0.2％ 特級校準(zhǔn)：±0.125% 讀數(shù) |
50 到 500 kPa 時(shí)，±0.5% 讀數(shù) |
廣州泰息特電子科技有限公司
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